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成果信息

本發(fā)明涉及藍(lán)寶石加工技術(shù)領(lǐng)域，提供一種藍(lán)寶石晶圓游離磨料研磨設(shè)備，包括:上盤、下盤、內(nèi)齒輪、外齒圈、游星輪、至少三個(gè)錐齒輪和錐齒輪進(jìn)給組件，所述上盤、所述下盤、所述內(nèi)齒輪和所述外齒圈同軸線設(shè)置,所述內(nèi)齒圈設(shè)置在所述上盤和所述下盤之間，所述外齒圈固定在所述下盤的上表面，所述游星輪同時(shí)與所述內(nèi)齒輪和所述外齒圈嚙合，所述上盤的下表面和所述下盤的上表面的外周設(shè)有錐齒圈。本發(fā)明通過(guò)在上盤和下盤之間設(shè)置多個(gè)錐齒輪，利用多個(gè)錐齒輪保持上盤和下盤平行設(shè)置，并帶動(dòng)上盤和下盤轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)，利用錐齒輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)錐齒輪沿上盤的徑向運(yùn)動(dòng)，從而調(diào)整上盤和下盤之間的間距。 )

背景介紹

本發(fā)明涉及藍(lán)寶石加工技術(shù)領(lǐng)域，提供一種藍(lán)寶石晶圓游離磨料研磨設(shè)備)

應(yīng)用前景

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