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成果信息

數(shù)字全息干涉儀是在本實(shí)驗(yàn)室長(zhǎng)期從事數(shù)字全息術(shù)研究的基礎(chǔ)上，開(kāi)發(fā)出來(lái)的可脫離實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用的干涉測(cè)量?jī)x器。根據(jù)被測(cè)物場(chǎng)的尺寸，分為縮微和顯微數(shù)字全息干涉儀?？s微數(shù)字全息干涉儀主要應(yīng)用于大口徑物場(chǎng)的透射式測(cè)量，可實(shí)現(xiàn)對(duì)氣（液）流場(chǎng)、擴(kuò)散過(guò)程等的現(xiàn)場(chǎng)可視化表征；顯微數(shù)字全息干涉儀主要應(yīng)用于生物組織、微系統(tǒng)和微加工過(guò)程等的檢驗(yàn)檢測(cè)，其軸向測(cè)量精度可達(dá)納米量級(jí)，實(shí)現(xiàn)樣品的動(dòng)態(tài)、全場(chǎng)、實(shí)時(shí)、非接觸、三維測(cè)量，獲得樣品的三維信息。)

背景介紹

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應(yīng)用前景

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