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成果信息

本發(fā)明公開了一種基于力調(diào)制微刻劃/微壓痕過程制備拉曼增強(qiáng)基底上陣列微納米結(jié)構(gòu)的實(shí)驗(yàn)裝置及方法，所述實(shí)驗(yàn)裝置包括XY向精密移動(dòng)控制器、Z向精密移動(dòng)臺(tái)控制器、納米精度工作臺(tái)、力傳感器、金剛石探針、樣品、宏動(dòng)精密工作臺(tái)，所述金剛石探針由納米精度工作臺(tái)經(jīng)過力傳感器帶動(dòng)進(jìn)行Z向的運(yùn)動(dòng)；金剛石探針與樣品之間的力信號(hào)由Z向精密移動(dòng)臺(tái)控制器上下移動(dòng)控制；樣品由XY向精密移動(dòng)控制器經(jīng)過宏動(dòng)精密工作臺(tái)帶動(dòng)在X？Y平面內(nèi)做二維運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明加工過程中探針連續(xù)進(jìn)行微刻劃、壓痕過程，同時(shí)帶動(dòng)樣件的工作臺(tái)作二維平動(dòng)，實(shí)現(xiàn)高效、大范圍的周期性陣列微納結(jié)構(gòu)的加工；加工過程中探針的垂直載荷實(shí)時(shí)改變，實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的微納結(jié)構(gòu)的加工。)

背景介紹

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應(yīng)用前景

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