成果信息
一種大口徑光學晶體表面微缺陷檢測用的圖像拼接方法，涉及一種微缺陷檢測用的圖像拼接方法。本發(fā)明為了解決目前的缺陷檢測中大口徑晶體的圖像采集和缺陷識別環(huán)節(jié)耗費時間較長的問題。本發(fā)明首先對待側大口徑晶體元件表面區(qū)域進行掃描，并利用檢測顯微鏡和檢測CCD對掃描區(qū)域進行實時圖像采集，并確定單張圖片的尺寸范圍和重疊區(qū)域尺寸：然后基于坐標系平移變換法實現(xiàn)采集圖像的拼接和缺陷點的坐標轉換，確定每個圖像中每個缺陷點在全局坐標系下的位置，并建立缺陷數(shù)據(jù)庫。本發(fā)明適用于光學晶體表面微缺陷檢測的圖像拼接。)
背景介紹
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應用前景
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