成果信息
發(fā)展了提高諧振頻率的新方法，在新型諧振原理和高Q值的實現(xiàn)方面取得了實質性突破，制作了高諧振頻率（最高> 400 MHz）、高Q值（最高>1000）的圓盤諧振子。研究了射頻微弱信號的高保真檢測方法，研究了正反饋驅動和溫度補償方法，研制了高性能MEMS振蕩器，為大規(guī)模制造可集成的高性能射頻微納諧振器件奠定了基礎。)
背景介紹
高度集成化、小型化、高頻率、低功耗是未來無線通信系統(tǒng)發(fā)展的必然趨勢。射頻收發(fā)組件小型化的關鍵技術瓶頸是濾波器和振蕩器的性能限制?；贛EMS諧振子的高性能射頻微納諧振器件是能取代基于陶瓷、石英等材料的片外振蕩器和濾波器的理想元件。針對高性能射頻微納諧振器件的關鍵科學和技術問題進行了系統(tǒng)研究。)
應用前景
在過去60年中，石英作為時鐘市場的主流技術，一直占據(jù)著霸主地位。但由于其受到傳統(tǒng)制造工藝的限制以及下游原材料(起振電路和基座)市場的壟斷，因此性價比無法進一步提升。為了滿足電子市場對元器件提出的更小、更可靠、更靈活的需求，時鐘組件必須走上全面硅化的道路。與傳統(tǒng)石英相比，全硅MEMS振蕩器不管從生產工藝還是組件設計結構上，都更符合現(xiàn)代電子產品的標準，也是對傳統(tǒng)石英產品的升級換代。 MEMS振蕩器已占據(jù)石英晶振中端產品的市場，正在逐漸進入高端和低端產品市場。)
主辦單位： 郴州市科學技術局
技術支持： 長沙諾為信息技術有限公司
郴州市科學技術局版權所有 ICP備案號： 湘ICP備10209074號-33
公安備案號 ：
43110302000213
