成果信息
納米級(jí)三維探針臺(tái)由壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，包含傳感器、驅(qū)動(dòng)器和控制器等部件，是精密儀器運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的核心部分，其壓電馬達(dá)具有高分辨率、小尺寸、低能耗、穩(wěn)定性高、無返程空回等特點(diǎn)。其運(yùn)動(dòng)控制部分采用驅(qū)控一體的壓電專用控制器,使系統(tǒng)不僅更簡潔、更靈活，還具有更好的實(shí)時(shí)性。)
背景介紹
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應(yīng)用前景
本項(xiàng)目產(chǎn)品主要應(yīng)用于電子、光伏、材料、醫(yī)療等行業(yè)的測試和微納米操作。按測試樣品分類可進(jìn)行晶圓測試、LED測試、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、太陽能電池片測試、材料表面電阻測試、納米器件測試等；按應(yīng)用分類可進(jìn)行射頻測試、高溫環(huán)境測試、低溫真空測試、低電流（fA）測試、I-v/c-v/p-iv測試、高壓大電流測試、特殊氣體環(huán)境測試、強(qiáng)磁環(huán)境測試、納米操作、細(xì)胞穿刺等。)
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