成果信息
多自由度精密位移平臺由壓電馬達驅動,包含傳感器、驅動器和控制器等部件,是精密儀器運動控制系統(tǒng)的核心部分,也是精密加工設備、醫(yī)療設備、微電子制造檢測設備、測量儀器、印刷設備、生物醫(yī)療設備、自動化生產(chǎn)線的關鍵組件。其壓電馬達具有高分辨率、小尺寸、低能耗等特點,其運動控制部分采用先進的EtherCAT(通用超高速以太網(wǎng)現(xiàn)場總線)方案,使系統(tǒng)不僅更簡潔、更靈活,還具有更好的實時性。與國外同類產(chǎn)品相比節(jié)省了成本且在性能和應用領域等方面具有很大優(yōu)勢。)
背景介紹
待添加)
應用前景
本項目產(chǎn)品主要針對醫(yī)療設備、精密測量設備和微納米加工市場,可應用于高端微電子裝備、精密儀器儀表、計算機、工業(yè)控制系統(tǒng)、航空航天、智能機器人等領域。)