成果信息
本實用新型提供一種聲表面波傳感器復合敏感膜的制備裝置，包括出口對準聲表面波器件的表面的至少兩個氣噴霧沉積裝置，不同的氣噴霧沉積裝置中填裝不同材料的溶液，所有氣噴霧沉積裝置在一個聲表面波器件的表面上同時沉積多種材料，獲得復合敏感膜。本實用新型的優(yōu)點在于：使用本實用新型的裝置可制備出傳統(tǒng)溶液法所不能制備出的復合敏感膜。)
背景介紹
本實用新型提供一種聲表面波傳感器復合敏感膜的制備裝置，包括出口對準聲表面波器件的表面的至少兩個氣噴霧沉積裝置，不同的氣噴霧沉積裝置中填裝不同材料的溶液，所有氣噴霧沉積裝置在一個聲表面波器件的表面上同時沉積多種材料，獲得復合敏感膜。)
應用前景
本實用新型提供一種聲表面波傳感器復合敏感膜的制備裝置，包括出口對準聲表面波器件的表面的至少兩個氣噴霧沉積裝置，不同的氣噴霧沉積裝置中填裝不同材料的溶液，所有氣噴霧沉積裝置在一個聲表面波器件的表面上同時沉積多種材料，獲得復合敏感膜。本實用新型的優(yōu)點在于：使用本實用新型的裝置可制備出傳統(tǒng)溶液法所不能制備出的復合敏感膜。)
主辦單位： 郴州市科學技術局
技術支持： 長沙諾為信息技術有限公司
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