成果信息
該項目主要研究了卷對卷納米壓印關(guān)鍵技術(shù)、模具、設(shè)備和應(yīng)用工藝:1、卷對卷納米壓印關(guān)鍵技術(shù)與設(shè)備。1)系統(tǒng)地開展了卷對卷納米壓印關(guān)鍵技術(shù)和裝備的研究,實現(xiàn)了壓印輥的快速加熱與冷卻、薄膜張力與變形量伺服控制、檢測等技術(shù),研制成功卷對卷納米壓印設(shè)備。2)發(fā)明了雙輥補償壓印模式,攻克了卷對卷壓印中存在的模具拼縫的問題,實現(xiàn)無接縫壓印。3)研究納米結(jié)構(gòu)和微米結(jié)構(gòu)同時熱熔冷壓的新技術(shù),實現(xiàn)了薄膜型菲涅耳鏡等微光學器件工業(yè)化制造。 2、壓印材料與工藝。本項目研究并解決了PMMA脫模改性、PE/PET復(fù)合材料制備等工藝,實現(xiàn)了涂層厚度0.2-3微米厚度PMMA涂層、6微米-30微米厚度PE/PET的光學膜制備,解決了連續(xù)壓印過程中材料的可靠性、一致性和高保真的技術(shù)難題。 3、大尺寸微納圖形模具。大尺寸微納結(jié)構(gòu)模具制造一直是納米制造的重大技術(shù)瓶頸,項目研制了大型紫外激光混合圖形直寫設(shè)備(特征結(jié)構(gòu)100nm-10um),利用UV 轉(zhuǎn)移拼板技術(shù),實現(xiàn)了大尺寸微-納模具制造,并且實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。)
背景介紹
微納制造是新興產(chǎn)業(yè)先導(dǎo)性與共性技術(shù),涉及平板顯示上游關(guān)鍵材料、LED照明、新型環(huán)保印刷和公共安全等領(lǐng)域,有巨大市場需求。長期以來,我國企業(yè)和高等院所的微納加工設(shè)備依賴進口,自主研制微納加工設(shè)備鮮見報道,嚴重制約了我國行業(yè)新產(chǎn)品創(chuàng)新和競爭力。因此,研制具有自主核心技術(shù)的裝備、實現(xiàn)微納結(jié)構(gòu)器件與材料低成本制造,對推動我國納米新產(chǎn)品開發(fā)和行業(yè)技術(shù)進步有重大意義。)
應(yīng)用前景
基于我國行業(yè)現(xiàn)況,項目率先在LED顯示照明、高端公共安全、無油墨印刷包裝等行業(yè)推廣,實現(xiàn)了規(guī)模應(yīng)用,卷對卷微納壓印是行業(yè)共性技術(shù),在平板顯示、太陽能、LED照明、環(huán)保無油墨印刷領(lǐng)域有巨大需求,因此,應(yīng)用前景廣闊。)