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成果信息

本項(xiàng)目針對(duì)三氯氫硅生產(chǎn)工藝的特點(diǎn)和要求，對(duì)三氯氫硅生產(chǎn)工藝進(jìn)行改進(jìn)，提出一種新的三氯氫硅生產(chǎn)和精制提純的方法，解決三氯氫硅生產(chǎn)中投資大，能耗高，分離效率低的問題。利用多級(jí)精餾或吸附、絡(luò)合精餾，對(duì)工業(yè)級(jí)三氯氫硅進(jìn)行精制，使其純度更高，雜質(zhì)中硼含量降低到了0.15ppb，磷含量降低到了0.37ppb。技術(shù)指標(biāo)：四氯化硅塔等后續(xù)產(chǎn)品中低沸物含量大幅降低，純化后的三氯氫硅純度可達(dá)到99.9%，其中硼、磷等雜質(zhì)含量降低到20~40ppb。)

背景介紹

我國經(jīng)濟(jì)的飛速發(fā)展，尤其是精細(xì)化工、有機(jī)硅產(chǎn)業(yè)、電子產(chǎn)品、光纖通訊等行業(yè)的快速發(fā)展，為三氯氫硅的生產(chǎn)和下游產(chǎn)品的開發(fā)提供了巨大的市場(chǎng)空間和機(jī)遇，而受技術(shù)條件等的限制，三氯氫硅是規(guī)劃的一個(gè)產(chǎn)值高、有發(fā)展前途的產(chǎn)品。三氯氫硅是生產(chǎn)太陽能級(jí)與微電子級(jí)多晶硅的重要原料，目前國內(nèi)的三氯氫硅生產(chǎn)工藝中，原料中低沸物以及含有硼、磷等輕組分的含量較高，分離效率不高；產(chǎn)品中含有易結(jié)晶雜質(zhì)，常堵塞管道，整個(gè)工藝中能量不能循環(huán)利用，造成了極大的能源消耗，增加了投資和生產(chǎn)成本。)

應(yīng)用前景

該技術(shù)適用于三氯氫硅用于有機(jī)硅烷和烷基、芳基以及有機(jī)官能團(tuán)氯硅烷合成，是有機(jī)硅烷偶聯(lián)劑中最基本的單體，也是生產(chǎn)半導(dǎo)體硅、單晶硅的原料，因此，具有廣闊的市場(chǎng)前景。)