成果信息
本項目是為了解決光電器件最好襯底材料之一藍寶石襯底材料拋光液在拋光過程中存在的襯底片表面去除速率低、粗糙度高、易劃傷等問題，而研發(fā)一種化學作用強、去除速率快、表面粗糙度低、無劃傷、成本低，且不污染環(huán)境及腐蝕設備的藍寶石襯底材料拋光液及制備方法。本項目采用具有自主知識產(chǎn)權的多功能螯合劑作為pH調(diào)節(jié)劑,同時又可起到緩沖劑、磨料穩(wěn)定劑、絡合及螯合的作用，實現(xiàn)反應劑一劑多用，降低成本。經(jīng)20多家中外企業(yè)使用表明，該拋光液性能穩(wěn)定、速率快，可一次或循環(huán)使用，目前可批量生產(chǎn)和應用。加工去除速率>5μm/h，表面粗糙度可降至Ra:0.1～0.3nm。)
背景介紹
藍寶石擁有極好的介電特性、電氣特性和優(yōu)異的光學透明性及機械性能，且耐化學腐蝕、抗輻射，可用作紅外和微波窗口系統(tǒng)、發(fā)光二極管（LED）、激光二極管（LD）、紫外線至近紅外光用光透射窗口、精密耐磨軸承等高技術領域中的零件制造材料，被廣泛應用于工業(yè)、國防、航天航空和科研等領域。但是其脆性大，硬度高，機械加工困難，無損傷超光滑表面制備技術則更加復雜。)
應用前景
隨著光電技術的飛速發(fā)展，光電產(chǎn)品對藍寶石襯底需求量日益增加，開發(fā)新型的拋光液及拋光技術，提高光電器件用襯底加工質(zhì)量，以推進冷光源的應用進程及節(jié)能減排的有效實施，并可用于國防、儀器儀表、紅外窗口等領域，因此，市場前景廣泛，也可為國家光電子工業(yè)發(fā)展起到很好的促進作用，具有廣闊的應用前景。)
主辦單位： 郴州市科學技術局
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