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成果信息
本系統(tǒng)引入高壓脈沖輝光放電技術(shù)，將真空陰極弧和中頻磁控濺射等多種鍍膜技術(shù)相結(jié)合，可研究開(kāi)發(fā)單層及多層功能膜，如硬質(zhì)膜、金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜、碳膜、鐵磁膜和磁性薄膜等新型薄膜材料。TiN、TiC、TiCN、TiAlN等硬質(zhì)薄膜已經(jīng)在工具、模具、裝飾等行業(yè)得到日益廣泛的應(yīng)用，類(lèi)金剛石碳（DLC）膜是一種光滑致密、高硬度、高電阻率、高導(dǎo)熱率、良好的紅外透過(guò)性、高化學(xué)穩(wěn)定性、低摩擦系數(shù)高耐磨性的新型超硬薄膜。 技術(shù)指標(biāo)： 1、電源輸出功率：～ 500KW，設(shè)前級(jí)隔離變壓器，對(duì)電網(wǎng)電壓的干擾?。? 2、計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)控制電流、電壓、功率、頻率、脈寬及時(shí)間曲線等； 3、在電源設(shè)計(jì)范圍內(nèi)，正、負(fù)向脈沖波形可獨(dú)立組合調(diào)整，； 4、可設(shè)定恒流、恒壓和恒功率三種輸出方式，恒流、恒壓在線無(wú)擾動(dòng)轉(zhuǎn)換； 5、電流和電壓正、負(fù)向峰值及脈沖寬度單獨(dú)可調(diào)，穩(wěn)定精度2%； 6、脈沖頻率范圍為50 ～ 2000Hz，占空比5～95％之間可調(diào)； 7、主體系統(tǒng)包括：機(jī)械傳輸系統(tǒng)、等離子體電解氧化系統(tǒng)、冷卻循環(huán)系統(tǒng)、微機(jī)控制系統(tǒng)； 8、輔助系統(tǒng)包括：純水制取系統(tǒng)、水處理系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)、電解液檢測(cè)系統(tǒng)。)
背景介紹
基于改善類(lèi)金剛石碳膜與鋁合金基體結(jié)合力，提高鋁合金表面承載能力的目的,采用了高離化率，高沉積速率的真空陰極弧離子鍍技術(shù)，在鋁合金表面獲得DLC/TiC/Ti(CN)/TiN/Ti多層膜，鋁合金表面獲得多層膜的成分、組織、結(jié)構(gòu),工藝參數(shù)對(duì)多層膜的成分、組織、結(jié)構(gòu)的影響及其控制，為了進(jìn)一步提高膜層質(zhì)量，研制了電子式真空陰極弧引弧器及無(wú)輔助陽(yáng)極彎曲弧磁過(guò)濾器，以期在航天領(lǐng)域的星、箭連接和展散機(jī)構(gòu)以及傳動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)等空間技術(shù)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。)
應(yīng)用前景
真空陰極弧離子鍍及DLC超硬薄膜制備技術(shù)在機(jī)械、電子、光學(xué)以及醫(yī)學(xué)等方面有廣闊具有應(yīng)用前景。)
主辦單位： 郴州市科學(xué)技術(shù)局
技術(shù)支持： 長(zhǎng)沙諾為信息技術(shù)有限公司
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