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成果信息

本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是：所述大行程高精度微納驅(qū)動(dòng)裝置及其定位方法包括固定外架、第一驅(qū)動(dòng)模組、第二驅(qū)動(dòng)模組、運(yùn)動(dòng)解耦組件、連接螺桿、承載板、導(dǎo)向套和緊固螺栓。)

背景介紹

隨著人們對(duì)納米科技的不斷探索，納米定位技術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于許多學(xué)科與領(lǐng)域，特別是當(dāng)代超精密加工技術(shù)、納米技術(shù)、微機(jī)電系統(tǒng)等的興起與發(fā)展對(duì)長(zhǎng)度量的測(cè)量提出了越來越高的要求。國(guó)內(nèi)外有關(guān)精密定位工作臺(tái)大多是采用宏微兩級(jí)控制驅(qū)動(dòng)，定位精度和分辨率已從過去的毫米級(jí)過渡到了微米級(jí)、從亞微米級(jí)進(jìn)入到了目前的納米級(jí)。但當(dāng)宏動(dòng)臺(tái)完成宏運(yùn)動(dòng)的同事，雖然進(jìn)行了補(bǔ)償，但宏動(dòng)臺(tái)仍然會(huì)有微笑的振動(dòng)，對(duì)于該精度定位系統(tǒng)，其影響是不可忽視的。目前，基本都是通過研究宏動(dòng)臺(tái)自身特性，從內(nèi)部入手采取補(bǔ)償措施，尚未檢索到一種對(duì)宏動(dòng)工作臺(tái)外部進(jìn)行鎖定的裝置。)

應(yīng)用前景

該研究可應(yīng)用于未來的超精密機(jī)床、納米加工機(jī)床、超精密定位及納米檢測(cè)與測(cè)量設(shè)備、航空航天設(shè)備、精密光學(xué)儀器設(shè)備、光刻設(shè)備、醫(yī)療器械設(shè)備及生物工程設(shè)備等多個(gè)領(lǐng)域的關(guān)鍵重要裝備中應(yīng)用，具有重要的理論研究意義及重要的應(yīng)用前景。)