成果信息
透明導電氧化物薄膜(Transparent Conductive Oxide films,TCO)是指在可見光波段透射率高于80%，電阻率低于10-3??cm的具有透明和導電雙重功能的一種功能薄膜，廣泛應用于薄膜太陽能電池透明電極、液晶顯示器、抗靜電涂層和電致變色玻璃等領域。目前市場主流TCO產品為含有稀有金屬銦的In2O3:Sn(ITO)，為了降低成本，我們開發(fā)ZnO:Al(AZO)薄膜來代替ITO。如何制備出較大面積均勻且性能優(yōu)異的AZO薄膜是目前業(yè)界的難點，我們實驗室根據(jù)自身條件，采用脈沖激光沉積法，理論模擬結合實驗驗證成功的制備出了5英寸均勻AZO透明導電氧化物薄膜，其光學電學性能遠滿足工業(yè)需求。)
背景介紹
鐵電材料以其優(yōu)良的鐵電、壓電、介電、熱釋電、光電、聲光、光折變和非線性光學性能，在存儲器、探測器、微波器件、光波導、光開關、光調制、光倍頻、微機械系統(tǒng) (MEMS) 等方面具有廣泛的應用前景。當今，微電子、光電子技術的飛速發(fā)展，對鐵電材料提出了小型化、薄膜化、高度集成化、智能化的要求。于是，鐵電薄膜及其集成器件的研究成為了鐵電學研究中最活躍的領域之一。目前，鐵電薄膜及其集成器件主要用的是鉛基類鐵電材料，在制備過程中，因氧化鉛揮發(fā)使得產品一致性差、成本高，而且鉛的毒性大，對人體器官和大腦神經系統(tǒng)有不可逆轉的損害，對生態(tài)環(huán)境也會造成嚴重污染。因此，發(fā)展無鉛鐵電薄膜材料是一項緊迫而有重要意義的課題。)
應用前景
本項目制備工藝已經相當成熟，正在開始批量生產5英寸均勻AZO透明導電氧化物薄膜。目前ITO占主要市場（70%），相信我們研發(fā)的低成本高性能的AZO薄膜將很有希望取代ITO的市場。)
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