成果信息
SAW傳感器具有獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)。與常用的半導(dǎo)體氣敏傳感器相比,它不受溫度影響,靈敏度高,穩(wěn)定性好;設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)靈活,對(duì)電、熱、力、聲、光、化學(xué)及生物等多種因素敏感;采用SAW技術(shù)其輸出信號(hào)為振蕩器頻率的變化,無(wú)需經(jīng)過(guò)A/D轉(zhuǎn)換,易于與計(jì)算機(jī)接口;抗干擾能力強(qiáng),靈敏度高,檢測(cè)范圍線性度好,測(cè)量重復(fù)性好,適合遠(yuǎn)距離傳輸和實(shí)現(xiàn)遙測(cè)遙控。其采用集成電路中的平面工藝制作,可實(shí)現(xiàn)集成化、智能化,使得SAW傳感器體積小、重量輕,攜帶方便。更重要的是,SAW傳感器件的成本低,能夠進(jìn)行大批量生產(chǎn),更符合產(chǎn)業(yè)化要求。)
背景介紹
隨著計(jì)算機(jī)向各行各業(yè)的日益普及,SAW傳感器作為眾多傳感器中具有獨(dú)特優(yōu)點(diǎn)的的傳感器類型,將更加顯示出無(wú)比的優(yōu)越性。今后的任務(wù)是在進(jìn)一步弄清各類SAW傳感器敏感機(jī)制的基礎(chǔ)上,加強(qiáng)SAW傳感器的理論設(shè)計(jì)和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,加強(qiáng)器件性能的最佳化,基片材料的選擇、聲波模式的選擇及傳感器結(jié)構(gòu)的放大或縮小,必須朝著把壓電材料和硅片混合集成的方向發(fā)展,增加SAW傳感器的可能應(yīng)用范圍。)
應(yīng)用前景
聲表面波器件傳統(tǒng)上大量應(yīng)用于信號(hào)處理,模擬和數(shù)字濾波器的諾振器;目前已經(jīng)在聲表面波帶通濾波器、延遲線、匹配濾波器、振蕩器、卷積器、雷達(dá)、通信及家用電器等方面的道路廣泛的應(yīng)用,市場(chǎng)應(yīng)用前景廣闊。)