成果信息
耐ArF、F2深紫外激光輻照特種石英玻璃，ArF準(zhǔn)分子激光193nm的透過率大于90%，F(xiàn)2準(zhǔn)分子激光157nm的透過率大于80%。ArF、F2深紫外激光輻照時玻璃不產(chǎn)生結(jié)構(gòu)缺陷，不發(fā)出紅色熒光。該技術(shù)現(xiàn)掌握了控制性能的關(guān)鍵技術(shù)，除了純度以外，OH、H2含量范圍、均勻性的控制及其關(guān)鍵技術(shù)。 )
背景介紹
特種玻璃是指除平板玻璃及日用器皿玻璃以外的，采用精制、高純的新型原料，采用新工藝在特殊條件下或嚴格控制形成過程制成的具有特殊功能或特殊用途的玻璃。 玻璃已從單純的透光材料和包裝材料發(fā)展成具有光、電、磁和聲等特性的材料。 )
應(yīng)用前景
該項目可應(yīng)用于深紫外光刻、光制導(dǎo)等領(lǐng)域，其經(jīng)濟效益可觀，在光電方面有重要作用。)
主辦單位： 郴州市科學(xué)技術(shù)局
技術(shù)支持： 長沙諾為信息技術(shù)有限公司
郴州市科學(xué)技術(shù)局版權(quán)所有 ICP備案號： 湘ICP備10209074號-33
公安備案號 ：
43110302000213
