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成果信息

該項(xiàng)目裝置的技術(shù)主要優(yōu)勢(shì)有： （1）該裝置具有設(shè)備投資小、成本低、粉末制備和薄膜沉積的轉(zhuǎn)換過(guò)程自動(dòng)化程度高； （2）利用直流電弧等離子體作為熱源對(duì)材料進(jìn)行加熱、蒸發(fā)、氣化并用收集器收集，形成超微粉，由于氣相中的粒子成核及生長(zhǎng)的空間增大,制得的產(chǎn)物粒子細(xì), 形貌均一, 具有良好的單分散度, 制備在封閉容器中進(jìn)行, 保證了粒子具有更高的純度，另外直流電弧等離子體還具有氣氛可變、溫度易控的優(yōu)異特點(diǎn)； （3）該設(shè)備制備薄膜，沉積工藝操作簡(jiǎn)單，通過(guò)控制系統(tǒng)全面實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，薄膜厚度可控，沉積質(zhì)量高； （4）在較低的溫度下制備薄膜，真空蒸發(fā)體系與微電子工藝相兼容； （5）精確地控制所沉積薄膜的化學(xué)組成，能獲得成分均勻的薄膜， 可以制備合金和化合物薄膜，也可以進(jìn)行摻雜蒸發(fā)。且技術(shù)已申請(qǐng)中國(guó)發(fā)明專利“一種制備納米粉末和薄膜材料的裝置”，本技術(shù)處于國(guó)際先進(jìn)水平。 )

背景介紹

納米粉末和薄膜材料往往具有塊體材料所不具備的聲、光、磁、電、熱、催化等特性，在國(guó)防、化工、電子信息、航天、冶金、能源等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景?，F(xiàn)有的納米粉末和薄膜材料制備設(shè)備昂貴，功能單一，往往只能適用于特定的材料體系，因此市場(chǎng)需求一種既可用于納米粉末材料。)

應(yīng)用前景

該裝置廣泛適用于微電子、光電子、航天、冶金、化工、能源等領(lǐng)域，具有廣闊的應(yīng)用前景。)