成果信息
本產(chǎn)品是在金剛石薄膜上采用平面半導(dǎo)體工藝，研制具有金屬－半導(dǎo)體－金屬(MSM) 結(jié)構(gòu)的紫外光電探測器，用于100～400nm 紫外波段光信號的探測；所以采用金剛石薄膜紫外探測器，將比用GaN基材料、SiC等材料制備的紫外探測器價格更加便宜、性能也將更優(yōu)越；MSM結(jié)構(gòu)是有兩個背靠背的肖特基二極管構(gòu)成，不必形成PN結(jié)和歐姆接觸，所以MSM結(jié)構(gòu)比光電導(dǎo)、PN結(jié)、PIN等結(jié)構(gòu)的工藝簡單，特別適合于金剛石等寬禁帶探測器的制造。)
背景介紹
金剛石具有禁帶寬度寬、響應(yīng)波段短、耐高溫、抗腐蝕等優(yōu)點，是同類寬帶材料（GaN基材料、SiC、BN等）中光響應(yīng)波段最短的材料，光響應(yīng)峰值約為200nm 、 400～800nm 的可見光區(qū)范圍均為盲區(qū)，大大有利于紫外光的探測；金剛石薄膜的生長技術(shù)在中國已經(jīng)逐漸成熟，成本大大下降。)
應(yīng)用前景
紫外探測器主要用于礦井可燃氣體和汽車尾氣的監(jiān)測，固體燃料成分分析、環(huán)境污染監(jiān)測、水下通信、細胞癌變分析、DNA測試、準分子激光器檢測等領(lǐng)域。隨著紫外線的廣泛應(yīng)用，紫外探測器也必將在環(huán)保、醫(yī)學(xué)、軍事等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用，并有著廣闊的市場。)
主辦單位： 郴州市科學(xué)技術(shù)局
技術(shù)支持： 長沙諾為信息技術(shù)有限公司
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